Фармацевтика и микроэлектроника: архитектура, каскады давления, регулирование и оборудование

Игорь Николаев Ведущий инженер по проектированию систем вентиляции и кондиционирования чистых помещений, компания «Алюмика» Тема: Фармацевтика и микроэлектроника: архитектура, каскады давления, регулирование и оборудование Игорь сравнил подходы двух отраслей на реальных объектах. В микроэлектронике класс чистоты обеспечивают вентиляторно-фильтровальные модули, фальшполы и переточные решётки. В фармацевтике эту задачу решают центральный кондиционер, HEPA-воздухораспределители и локальные ламинарные зоны, RABS и передаточные боксы. Он показал, чем различаются каскады давления: 10 Па в микроэлектронике против 10–15 Па между классами и 40–65 Па в зоне B в фармацевтике. Разобрал он и типы шлюзов (cascade, bubble, sink), а также требования к микроклимату, от ±0,1 °C в литографии до сухих комнат с точкой росы −40 °C. Спикер представил рабочие схемы регулирования: поддержание статического давления в приточном канале вместе с CAV-клапанами и два варианта вытяжки (VAV-клапан с отбором давления из помещения или дроссель с приводом и выносным датчиком). В завершение он поделился практическими нюансами: длина импульсных трубок и выбор «нулевой точки», дренаж кондиционера, резервирование вентиляторов, пароувлажнение и выбор HEPA-фильтров.