Интегральный плазмонный электро-абсорбционный модулятор - Даниил Земцов

Конференция ХОЛОЭКСПО 2024 Секция №5 «Интегральная фотоника» Доклад №5.9. Интегральный плазмонный электро-абсорбционный модулятор на платформе кремний-на-изоляторе Земцов Даниил Сергеевич, Пшеничнюк И. А., Земцова А. К., Смирнов А. С., Жигунов Д. М., Гарбузов К. Н., Косолобов С. С., Драчев В. П. Сколковский институт науки и технологий, г. Москва Аннотация: Создан интегральный кремниевый электро-абсорбционный модулятор в виде гибридного плазмонного волновода со слоем прозрачного проводящего оксида индия олова. Управление концентрацией свободных электронов в оксиде индия олова обеспечивает переключаемую связь волноводной и плазмонной мод, а также влияет на их параметры. Изготовленные структуры продемонстрировали полосу модуляции 40 ГГц и экстинкцию 2 дБ. Показаны конфигурации плазмонного интерфейса, подходящие для модуляции ТЕ или ТМ моды. Все изготовленные модуляторы имеют длину менее 15 мкм. #электрооптическиймодулятор #прозрачный #проводящий #оксид #микроволновая #фотоника #фотонныеинтегральныесхемы #кремнийнаизоляторе 12 сентября 2024, Казань https://holoexpo.ru/